Implementation of multi-opening orifices in the primary metrology of vacuums and small gas throughputs

یک سوراخ چند بازه دستگاهی برای اندازه گیری اولیه جریان گاز و مقادیر خلاء مربوطه است. این دستگاه یک رگ جریان جریان مولکولی را حفظ می کند و بنابراین امکان بسیار دقیق هدایت از ابعاد هندسی برای فشار نسبتا بالا را محاسبه می کند و مقدار هدایت به اندازه کافی بلند است تا پارامترهای معقول سیستم خلاء در استفاده از آن به دست آید. اشکال مناسب یک مجرای سوراخ چند گانه و اصول طراحی سوراخ چند گانه مورد بحث قرار گرفته است. یک نمونه از سوراخ چند بازه تولید شده با سنگ زنی داده شده است. محدودیت ها و الزامات لازم برای توسعه بیشتر تهیه شده است.