کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8045287 | 1518968 | 2014 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Method to test linearity of quadrupole mass spectrometers by use of a flowmeter and a standard leak
ترجمه فارسی عنوان
روش برای تست خطی بودن طیف سنج جرمی چهارگانه با استفاده از یک جریان سنج و نشت استاندارد
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
طیف سنج جرم چهارگانه، خطی بودن، نشت استاندارد نشت ثانویه، جریان متر گاز مترولوژی خلاء،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
چکیده انگلیسی
A linearity test of the quadrupole mass spectrometer signal can be performed by using the pressure generated by the flow rate of a secondary leak as a fix point and varying the flow rate by a primary gas flowmeter around this value. Applying this method, we have investigated three different quadrupole mass spectrometer in a range of helium partial pressures between 10â9 Pa and 10â4 Pa, corresponding to flow rates of 10â7 Pa L sâ1 to 10â2 Pa L sâ1 in our system. Our preliminary results indicate significant non-linearities for even modest partial pressure changes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 101, March 2014, Pages 440-444
Journal: Vacuum - Volume 101, March 2014, Pages 440-444
نویسندگان
Ute Becker, Karl Jousten,