کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8045392 | 1518982 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Irradiation effects of water cluster ion beam on PMMA surface
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We investigated the irradiation effects of a water cluster ion beam on a PMMA surface. The incident angle dependence of the sputter depth of the PMMA surface induced by the irradiation of a water cluster ion beam was measured. The sputter depth had a broad peak around the incident angle of 60°. The surface roughness caused by the irradiation of the water cluster ion beam was small compared with the sputter depth.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 87, January 2013, Pages 119-122
Journal: Vacuum - Volume 87, January 2013, Pages 119-122
نویسندگان
Hiromichi Ryuto, Gaku Ichihashi, Mitsuaki Takeuchi, Gikan H. Takaoka,