Accuracy analysis of simplified and rigorous numerical methods applied to binary nanopatterning gratings in non-paraxial domain

مجموعه ای از نظریه های بردار الکترومغناطیسی ساده و دقیق برای تجزیه و تحلیل ویژگی های انتقال از شبکه های فازی پراکندگی استفاده می شود. تئوری پراش پرتو اسکالر و تئوری محرک مؤثر با نتایج دقیق بدست آمده از طریق نظریه موج دشوار و روش متداول-دامنه اختیاری به دست می آیند. اثرات پارامترهای پروفایل سطح و نیز زاویه بروز نشان دهنده ی عامل محدود کننده در دقت این نظریه ها است. بنابراین خطای هر دو تئوری ساده نیز در حوزه غیر پاراکسالی مورد بررسی قرار می گیرد و هدف آن ایجاد یک محدوده خاصی از اعتبار برای هر دو تئوری ساده است.