کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
851260 | 909309 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Spectroscopic ellipsometry measurements on an anisotropic crystal: 6H-SiC
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Spectroscopic ellipsometry measurements on an anisotropic crystal: 6H-SiC Spectroscopic ellipsometry measurements on an anisotropic crystal: 6H-SiC](/preview/png/851260.png)
چکیده انگلیسی
In spectroscopic ellipsometry (SE) measurement, accuracy of optic axis orientation is very important requirement. To reduce the error arising from the uncertainty in optic axis orientation, we applied multiple angles SE measurement performed on 6H-SiC with the optical axis perpendicular to the sample (0 0 0 1) surface in the 300–800 nm wavelength range at room temperature. The refractive indices and extinction coefficients for ordinary and extraordinary were both fitted by Cauchy dispersion model. The obtained results were of great agreement with literatures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 123, Issue 18, September 2012, Pages 1609–1612
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 123, Issue 18, September 2012, Pages 1609–1612
نویسندگان
Zheng Ma, Jie Lian, Qing-Pu Wang, Wen-Li Guan, Shi-Liang Wu, Shang Gao, Ping Song, Xiao Wang,