کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
851826 | 909340 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Design of a MEMS micromirror actuated by electrostatic repulsive force
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Design of a MEMS micromirror actuated by electrostatic repulsive force Design of a MEMS micromirror actuated by electrostatic repulsive force](/preview/png/851826.png)
چکیده انگلیسی
A microelectromechanical system (MEMS) micromirror actuated by electrostatic repulsive force is demonstrated. The design is based on the principle that an asymmetric electric field produced by special layout of the electrodes can generate a repulsive force, which moves the mirror surface upwards. The factors affecting the magnitude of the driving force of the micromirror actuator are analyzed by FEA. The prototype is fabricated using a commercial available surface micromachining process and successfully tested using a Zygo NewView7300 interferometer. The displacement of the micromirror reaches 1.2 μm at 60 V.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 123, Issue 5, March 2012, Pages 387–390
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 123, Issue 5, March 2012, Pages 387–390
نویسندگان
Fangrong Hu, Yalu Tang, Yixian Qian,