کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
852380 | 909374 | 2009 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A multi-beam ion/electron spectra-microscope design
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: A multi-beam ion/electron spectra-microscope design A multi-beam ion/electron spectra-microscope design](/preview/png/852380.png)
چکیده انگلیسی
This paper presents the design of a multi-beam charged particle instrument that simultaneously focuses electrons, gallium, oxygen and cesium ions onto the same sample. In addition, the instrument has provision to capture the spectra of both secondary electrons and ions in parallel. The mass spectrometer part of the instrument is expected to detect and identify secondary ion species across the entire range of the periodic table, and also record a portion of their emitted energy spectrum. The electron energy spectrometer part of the instrument is designed to acquire the entire range of scattered electrons, from the low-energy secondary electrons through to the elastic backscattered electrons.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 120, Issue 6, March 2009, Pages 280–288
Journal: Optik - International Journal for Light and Electron Optics - Volume 120, Issue 6, March 2009, Pages 280–288
نویسندگان
Anjam Khursheed,