کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
858169 | 1470739 | 2014 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The GaN/SiC Heterostructure-based Hydrogen SAW Sensor Operating in GHz Range
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی (عمومی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this work we demonstrate the fabrication process and electrical characterization of GaN/SiC heterostructure-based surface acoustic wave filters for highly-sensitive hydrogen sensors. In the acoustic propagation path, palladium metal is used as a hydrogen sensing layer. The influence of this layer on SAW velocity is measured. The impact of second-order effects on SAW filter properties is discussed. Two different interdigitated transducer (IDT) topologies are investigated in order to achieve the low insertion loss and high attenuation of triple transit echo (TTE). Finally, the sensory performance of designed delay line SAW oscillator is demonstrated
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Procedia Engineering - Volume 87, 2014, Pages 260-263
Journal: Procedia Engineering - Volume 87, 2014, Pages 260-263