کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9566809 | 1503712 | 2005 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The effect of the oxygen concentration and the rf power on the zinc oxide films properties deposited by magnetron sputtering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Crystalline structures and roughness characteristics of the films were investigated by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM) measurements, respectively. Deposition conditions were optimized to obtain films of good quality suitable for the fabrication of surface acoustic wave (SAW) devices. The optimal parameters to obtain a good piezoelectric material have been: rf power 50Â W and reactive plasma.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 245, Issues 1â4, 30 May 2005, Pages 273-280
Journal: Applied Surface Science - Volume 245, Issues 1â4, 30 May 2005, Pages 273-280
نویسندگان
I. Sayago, M. Aleixandre, L. Arés, M.J. Fernández, J.P. Santos, J. Gutiérrez, M.C. Horrillo,