کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9567323 | 1503713 | 2005 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Deep lamellar diffraction gratings fabricated by etching a transparent quartz plate are studied using spectroscopic ellipsometry. The rigorous coupled-wave analysis is used to calculate the optical response of the gratings. Three parameters of the rectangular profile are determined by utilizing the least-square method. Detailed investigation of the spectral dependences demonstrates the uniqueness of the solution. Observing the spectral dependences of Wood anomalies suggests that even complicated profiles can be fitted with high authenticity.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 244, Issues 1â4, 15 May 2005, Pages 225-229
Journal: Applied Surface Science - Volume 244, Issues 1â4, 15 May 2005, Pages 225-229
نویسندگان
R. Antos, I. Ohlidal, J. Mistrik, K. Murakami, T. Yamaguchi, J. Pistora, M. Horie, S. Visnovsky,