کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9594900 | 1507960 | 2005 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Negative cluster emission in sputtering of Si1âxGex alloys: A full spectrum approach
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Finally, we observed that the fractions of silicon and germanium atoms in the ionized fraction of the sputtered flux are equivalent to their elemental fractions in the alloy. This behavior suggests the possibility to establish a protocol for the quantification of germanium concentration that can be applied to any Si1âxGex alloy avoiding matrix effects.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface Science - Volume 599, Issues 1â3, 30 December 2005, Pages 141-149
Journal: Surface Science - Volume 599, Issues 1â3, 30 December 2005, Pages 141-149
نویسندگان
M. Perego, S. Ferrari, M. Fanciulli,