کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9699683 | 1461937 | 2005 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A monolithic three-axis SOI-accelerometer with uniform sensitivity
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
This paper describes design and fabrication of a capacitive three-axis accelerometer. The devices are bulk micromachined from SOI-wafers by DRIE, and are protected by glass encapsulation. The design is optimised to give direction independent resolution and frequency response, i.e. identical properties in all directions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 50-53
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123â124, 23 September 2005, Pages 50-53
نویسندگان
Henrik RödjegÃ¥rd, Christer Johansson, Peter Enoksson, Gert Andersson,