کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9699683 1461937 2005 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A monolithic three-axis SOI-accelerometer with uniform sensitivity
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
A monolithic three-axis SOI-accelerometer with uniform sensitivity
چکیده انگلیسی
This paper describes design and fabrication of a capacitive three-axis accelerometer. The devices are bulk micromachined from SOI-wafers by DRIE, and are protected by glass encapsulation. The design is optimised to give direction independent resolution and frequency response, i.e. identical properties in all directions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volumes 123–124, 23 September 2005, Pages 50-53
نویسندگان
, , , ,