Keywords: مایکروماشینینگ فله; Preshaped curved beam; U-shaped electrothermal actuator; Multistable module; Microfabrication; Bulk micromachining;
مقالات ISI مایکروماشینینگ فله (ترجمه نشده)
مقالات زیر هنوز به فارسی ترجمه نشده اند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Bulk micromachining; Comb-drive actuators; Deep reactive ion etching (DRIE); High aspect ratio structure (HARS); Inductively coupled plasma (ICP)
A MEMS-based magnetic field sensor with simple resonant structure and linear electrical response
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Bulk micromachining; Lorentz force; Magnetic field sensor; MEMS; Resonant silicon structure
100Â GHz ultra-high Q-factor photonic crystal resonators
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Photonic crystal; Resonator; Q-factor; Electromagnetic band gap; Bulk micromachining; Silicon;
MEMS based normally closed silicon microregulator for gas and water
Keywords: مایکروماشینینگ فله; MEMS; Microregulator; Piezoelectric actuation; Bulk micromachining;
Bulk micromachining of SiC substrate for MEMS sensor applications
Keywords: مایکروماشینینگ فله; SiC MEMS; AlGaN/GaN HEMT; Bulk micromachining; Laser ablation
Aluminum bulk micromachining through an anodic oxide mask by electrochemical etching in an acetic acid/perchloric acid solution
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Bulk micromachining; Aluminum; Anodizing; Electrochemical etching; Laser irradiation
Experimental study and analysis of corner compensation structures for CMOS compatible bulk micromachining using 25 wt% TMAH
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Corner compensation; Bulk micromachining; TMAH anisotropic etching; Accelerometer
CMOS integrated tactile sensor array by porous Si bulk micromachining
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Tactile sensor; CMOS compatible; Bulk micromachining
The rapid temperature transfer apparatus for E. coli K12 DNA segment amplification
Keywords: مایکروماشینینگ فله; DNA amplification; PCR; Bulk micromachining; Thin-film heater; E. coli K12
Zinc oxide thin film-based MEMS acoustic sensor with tunnel for pressure compensation
Keywords: مایکروماشینینگ فله; ZnO thin film; Acoustic sensor; Tunnel; Bulk micromachining
Fabrication of quartz diaphragms for helium leak detection
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Quartz; Leak detection; Bulk micromachining; Powder blasting; Electroplating;
Characterization of a miniature thermal shear-stress sensor with backside connections
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Shear-stress sensor; Bulk micromachining; Backside connection; Frequency response
Etch characteristics of KOH, TMAH and dual doped TMAH for bulk micromachining of silicon
Keywords: مایکروماشینینگ فله; MEMS; Bulk micromachining; KOH; TMAH; Dual doped TMAH; Surface roughness; <111>/<100> Etch rate ratio
Bulk micromachining of silicon in TMAH-based etchants for aluminum passivation and smooth surface
Keywords: مایکروماشینینگ فله; MEMS; TMAH; Bulk micromachining; Dual doping; Aluminum passivation; Piezoresistive accelerometer
Sensors and actuators based on SOI materials
Keywords: مایکروماشینینگ فله; SOI; Microsystems; Bulk micromachining; Wafer bonding; Nanoindenter; Accelerometer; Diffractive optical elements; Micro lens
Particle filters integrated inside a silicon wafer
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Bulk micromachining; Spray coating; Pattern transfer;
A monolithic three-axis SOI-accelerometer with uniform sensitivity
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Accelerometer; SOI; Direction independent; Inertial sensor; Three-axis; Bulk micromachining;
Properties of piezoelectric actuator on silicon membrane, prepared by screen printing method
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Piezoelectric actuator; Bulk micromachining; Screen printing method;
Microfabrication of sensors with magnetic resonating elements for further application in molecular probe chemistry
Keywords: مایکروماشینینگ فله; Bulk micromachining; Cantilever paddle; Piezoresistor; Electroplating; Metallic microstructure;
High isolation X-band MEMS capacitive switches
Keywords: مایکروماشینینگ فله; MEMS capacitive switch; RF MEMS; Bulk micromachining;