کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9783890 1512026 2005 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Strain engineering in SOI-type materials for future technologies
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Strain engineering in SOI-type materials for future technologies
چکیده انگلیسی
Among the different substrate level options investigated by the industry, we will focus here on strained Si layers on insulator. Different wafer manufacturing techniques will be considered, and the potential of wafer bonding and layer transfer techniques will be highlighted.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science and Engineering: B - Volumes 124–125, 5 December 2005, Pages 16-23
نویسندگان
,