کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9817564 | 1518767 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Light-ion beam for microelectronic applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Light-ion beam for microelectronic applications Light-ion beam for microelectronic applications](/preview/png/9817564.png)
چکیده انگلیسی
In this paper we describe the structure and the composition of (Al,Ga)N/GaN Bragg reflectors obtained from Rutherford backscattering spectroscopy. Bragg reflectors constitute a part of blue (λ = 450 nm) resonant cavity light emitting diodes. To improve the measurement accuracy, three tilt angles have been used (10°, 25° and 50°). In a second part of the paper, ion beam induced charges study has been carried out, with a 2 MeV 4He+ micro-beam, on metal-semiconductor-metal UV photodetectors. Results have been taken into account for the design of the photodetector electrodes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 240, Issues 1â2, October 2005, Pages 265-270
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 240, Issues 1â2, October 2005, Pages 265-270
نویسندگان
L. Hirsch, P. Tardy, G. Wantz, N. Huby, P. Moretto, L. Serani, F. Natali, B. Damilano, J.Y. Duboz, J.L. Reverchon,