کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9821494 | 1518985 | 2005 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Plasma CVD of alumina-Unsolved problems
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The investigations clearly demonstrated that activating the process gas by plasma lowers the temperature needed for the formation of hard alumina coatings. The properties of the alumina coatings depend strongly on process parameters like temperature, plasma power and process gas composition. Higher plasma power as well as certain additives to the process gas favour the formation of hard alumina (α-phase) at lower temperatures and suppress the formation of softer alumina modifications. At the present stage, the process is still not sufficiently uniform. Furthermore, certain types of damage in the coatings were observed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 80, Issues 1â3, 14 October 2005, Pages 141-145
Journal: Vacuum - Volume 80, Issues 1â3, 14 October 2005, Pages 141-145
نویسندگان
J. Laimer, M. Fink, C. Mitterer, H. Störi,