کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9821532 1518986 2005 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigation of an atmospheric pressure radio-frequency capacitive plasma jet
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Investigation of an atmospheric pressure radio-frequency capacitive plasma jet
چکیده انگلیسی
Two discharge modes can be sustained within certain limits. At RF input powers of 50-420 W an α-discharge can be sustained, however, below approximately 300 W the electrodes are only partially covered with the glow. At higher powers a breakdown occurs and a transition to a γ-discharge takes place, whereby the α-discharge dies out. The γ-discharge only covers a part of the electrodes and can be sustained down to powers of 50 W. Below this power the discharge extinguishes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 79, Issues 3–4, 19 August 2005, Pages 209-214
نویسندگان
, , , , ,