کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9821557 | 1518987 | 2005 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Surface ripple amplification and attenuation by sputtering with diametrically opposed ion fluxes
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Monodirectional, obliquely incident, ion bombardment fluxes can generate travelling wave or ripple structures on surfaces as a result of competition between sputtering erosion effects and relaxation processes. It is shown that if two independent ion fluxes, incident in diametrically opposite directions, are employed then the resulting surface structure is a static wave with an amplitude which is time modulated and which, periodically, results in a flat surface. This behaviour may be useful in sputter depth profiling applications.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 79, Issues 1â2, 8 July 2005, Pages 106-109
Journal: Vacuum - Volume 79, Issues 1â2, 8 July 2005, Pages 106-109
نویسندگان
G. Carter,