![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Uniformity of 500-mm cylindrical plasma source sustained with multiple low-inductance antenna units
Keywords: 52.50 دلار; 52.50.Qt; 52.50Dg; 52.65-yICP; Internal antenna; Plasma source; Fluid simulation; Uniformity