![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Micro-ablation on silicon by femtosecond laser pulses focused with an axicon assisted with a lens
Keywords: 78.40 فی; 42.62âb; 42.65Re; 78.40Fy; 78.47+p; 81.20Wk; Femtosecond laser; Micromachining; Axicon; Debris; Clusters; Silicon;