![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Growth of thin zirconium oxide films on the 6H-SiC(0Â 0Â 0Â 1) surface
Keywords: 79.60 من; 79.60âI; 77.55.Dâ; 68.37.Ef, 61.05.jh; High-κ dielectrics; Zirconium dioxide; Silicon carbide; Semiconductor/insulator interfaces;