![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
X-ray photoelectron spectroscopy studies on AlN thin films grown by ion beam sputtering in reactive assistance of N+/N2+ ions: Substrate temperature induced compositional variations
Keywords: آلومینیوم نازک فیلم; AlN thin films; Ion beam sputter deposition; Reactive assistance; Substrate temperature; XPS;