![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Composition-property relationships in high-κ LaxZr1-xOy thin films from aqueous solution
Keywords: رسوب محلول آب; Lanthanum zirconium oxide; High-κ dielectric; Aqueous solution deposition; Spin-coating; Thin films;