![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
PECVD of carbon by inverted fireballs: From sputtering, bias enhanced nucleation to deposition
Keywords: تقلید هسته زدایی; PECVD; plasma enhanced chemical vapor deposition; SEM; scanning electron microscope; EDX; energy dispersive X-ray spectroscopy; XRD; X-ray diffraction; XPS; X-ray photoemission spectroscopy; BEN; bias enhanced nucleation; ND; nano-diamond; UNCD; ultra-nan