کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7111213 | 1460766 | 2016 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
PECVD of carbon by inverted fireballs: From sputtering, bias enhanced nucleation to deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
UNCDEDXPECVDBENPlasma CVD - CVD پلاسماEnergy Dispersive X-ray Spectroscopy - اشعه ماوراء بنفش اشعه ایکسX-ray photoemission spectroscopy - اشعه ماوراء بنفش اشعه ماوراء بنفشDiamond crystal - الماس کریستالBias enhanced nucleation - تقلید هسته زداییScanning probe techniques - تکنیک های پروب اسکنVibrational properties characterization - خصوصیات ارتعاشاتXPS - طیف نگاری فوتوالکترونی اشعه ایکسSEM - مدل معادلات ساختاری / میکروسکوپ الکترونی روبشیscanning electron microscope - میکروسکوپ الکترونی اسکنNano-diamond - نانو الماسX-ray diffraction - پراش اشعه ایکسXRD - پراش اشعه ایکسPlasma enhanced chemical vapor deposition - پلاسما از رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته است
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: PECVD of carbon by inverted fireballs: From sputtering, bias enhanced nucleation to deposition PECVD of carbon by inverted fireballs: From sputtering, bias enhanced nucleation to deposition](/preview/png/7111213.png)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 65, May 2016, Pages 96-104
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 65, May 2016, Pages 96-104
نویسندگان
P. Knoll, J. Reynvaan, M. Mayer, S. Surnev, P. Geistlinger, K. Krenn, K. Ettinger, C. Prietl, A. Hohenau, J. Gruenwald, B. Kunert, R. Resel,