![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Multi-asperity nanotribological behavior of single-crystal silicon: Crystallography-induced anisotropy in friction and wear
Keywords: پوشش های نیترید کربن; Micro/nanotribology; Monocrystalline silicon wafer; Carbon nitride coatings; MEMS;