![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Transient effects during sputtering of a-C:H surfaces by nitrogen ions
Keywords: پاشش شیمیایی; Ion–surface interaction; Sputtering; Amorphous carbon films (a-C:H); Chemical erosion; Chemical sputtering; Co-deposition