![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Atomic layer deposition and characterization of zirconium oxide-erbium oxide nanolaminates
Keywords: تفکیک و انعکاس; Atomic layer deposition; X-ray scattering; Diffraction and reflection; Crystallization; Electrical transport (conductivity, resistivity, mobility, etc.); Rare earth metals; Oxides; Thin film structures; Insulating films;