![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Effect of RF power on the optical, electrical, mechanical and structural properties of sputtering Ga-doped ZnO thin films
Keywords: اکسید روی دی اکسید گوگرد; Thin films; Ga-doped zinc oxide; Residual stress; Fast Fourier transform; Surface roughness;