![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Enhancement of the deposition rate in reactive mid-frequency ac magnetron sputtering of hard and optically transparent ZrO2 films
Keywords: نرخ رسوب بالا; Reactive ac magnetron sputtering; Pulsed oxygen flow control; Hard ZrO2 films; High optical transparency; High deposition rates;