![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Ga-doped ZnO films by magnetron sputtering at ultralow discharge voltages: Effects of defect annihilation
Keywords: اسپری مگنتررون; Ga-doped ZnO; Magnetron sputter; Ultralow discharge voltage; Defect annihilation;