![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Reliability of MEMS: A perspective on failure mechanisms, improvement solutions and best practices at development level
Keywords: تکنولوژی میکروسیستم; MEMS; Microsystem technology; RF-MEMS; Reliability; Failure mechanisms; Physics of failure