![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Optical fiber Fabry-Pérot micro-displacement sensor for MEMS in-plane motion stage
Keywords: قفل فاز; Fabry-Pérot interferometry; Distributed feedback laser; Phase lock; Sinusoidal phase modulation; MEMS; Optical fiber; Displacement sensor;