کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942670 1644959 2018 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optical fiber Fabry-Pérot micro-displacement sensor for MEMS in-plane motion stage
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Optical fiber Fabry-Pérot micro-displacement sensor for MEMS in-plane motion stage
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volumes 187–188, 5 February 2018, Pages 6-13
نویسندگان
, , ,