Keywords: ماسک تغییر فاز; Refined grating fabrication; Displacement Talbot Lithography; Phase shift mask; Photolighography;
مقالات ISI ماسک تغییر فاز (ترجمه نشده)
مقالات زیر هنوز به فارسی ترجمه نشده اند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
در صورتی که به ترجمه آماده هر یک از مقالات زیر نیاز داشته باشید، می توانید سفارش دهید تا مترجمان با تجربه این مجموعه در اسرع وقت آن را برای شما ترجمه نمایند.
Surface modification of the MoSiON phase shift mask to reduce critical dimension variation
Keywords: ماسک تغییر فاز; Phase shift mask; MoSiON; Etching; Surface;
Single mask dual damascene processes
Keywords: ماسک تغییر فاز; Mask; Phase shift mask; Single mask dual damascene process; Misalignment; Copper interconnect; Dual damascene
A Schwarz generalized eigen-oscillation spectral element method (GeSEM) for 2-D high frequency electromagnetic scattering in dispersive inhomogeneous media
Keywords: ماسک تغییر فاز; 65N38; 78M25Eigen-oscillations; Spectral methods; Schwarz domain decomposition method; Radiation interface condition; Complex Helmholtz equations; High frequency scattering; Dispersive inhomogeneous media; Phase shift mask