کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942610 1450295 2018 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Refined grating fabrication using Displacement Talbot Lithography
ترجمه فارسی عنوان
ساخت گریت تصفیه شده با استفاده از لیتوگرافی جابجایی تالبوت
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
ساخت گریت تصفیه شده با استفاده از لیتوگرافی جابجایی تالبوت
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 189, 5 April 2018, Pages 74-77
نویسندگان
, , , , , , , , , , ,