![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Simulation and testing of pollutant dispersion during preventive maintenance in a cleanroom
Keywords: سرویس و نگهداری پیشگیرانه; Airborne molecular contamination; Gas sensors; Cleanroom; Preventive maintenance