![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Optical metrology of thick photoresist process for advanced 3D applications
Keywords: اتصال پریسی; Ellipsometry; Spectral reflectometry; Photoresist; Fourier transform analysis; Prism coupling;