![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Residual stress measurement in DLC films deposited by PBIID method using Raman microprobe spectroscopy
Keywords: طیف سنجی میکرو پروب رامان; Residual stress; Residual stress constant; Diamond-like carbon (DLC) films; Raman microprobe spectroscopy; Phonon deformation potentials;