![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
The use of electron Rutherford backscattering to characterize novel electronic materials as illustrated by a case study of sputter-deposited NbOx films
Keywords: رسوب واکنش دهنده واکنش دهنده; Electron Rutherford backscattering; NbOx; Reactive sputter deposition