![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Study on shop floor control system in semiconductor fabrication by self-organizing map-based intelligent multi-controller
Keywords: کنترل طبقه فروشگاه; Shop floor control; FAB; Machine learning; SOM; Data mining