![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Surface preparation of gold nanostructures on glass by ultraviolet ozone and oxygen plasma for thermal atomic layer deposition of Al2O3
Keywords: تمیز کردن بستر; Alumina; Atomic layer deposition; Substrate cleaning; Gold nanostructures; UV ozone; Oxygen plasma; Localized surface plasmon resonance;