![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Residual stress study of nanostructured zirconia films obtained by MOCVD and by sol-gel routes
Keywords: فازهای تتراپا و مونوکلینیک; Zirconia thin films; Tetragonal and monoclinic phases; Phase transformation; Residual and intrinsic stresses; MOCVD; Sol-gel;