![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Keywords: بازتاب اشعه ایکس; CVD; chemical vapor deposition; ALD; atomic layer deposition; XRR; X-ray reflection; SEM; scanning electron microscopy; FIB; focused ion beam; XRD; X-ray diffraction; Instrumented nano-indentation; Metal oxide nano-laminates; Mechanical properties; Thin f