کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1656730 | 1517597 | 2015 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mechanical properties of aluminum, zirconium, hafnium and tantalum oxides and their nanolaminates grown by atomic layer deposition
ترجمه فارسی عنوان
خواص مکانیکی اکسید آلومینیوم، زیرکونیوم، هافنیوم و تانتالیم و نانولایلهای آنها که توسط رسوبات لایه اتمی رشد می کنند
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
FIBXRRALD - آدرنولکودیستروفیFocused ion beam - باریکه یونی متمرکز یا بیمX-ray reflection - بازتاب اشعه ایکسMechanical properties - خواص مکانیکیChemical vapor deposition - رسوب بخار شیمیایی یا انباشت به روش تبخیر شیمیاییCVD - رسوب دهی شیمیایی بخار Atomic layer deposition - رسوب لایه اتمیThin film - لایه نازکSEM - مدل معادلات ساختاری / میکروسکوپ الکترونی روبشیScanning electron microscopy - میکروسکوپ الکترونی روبشیXRD - پراش اشعه ایکسX-ray diffraction - پراش اشعه ایکس
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
The mechanical properties of two different metal oxide nanolaminates comprised of Ta2O5 and Al2O3, HfO2 or ZrO2, grown on soda-lime glass substrate by atomic layer deposition, were investigated. Ta2O5 and Al2O3 layers were amorphous, whereas ZrO2 and HfO2 possessed crystalline structure. Thickness of single oxide layers was varied between 2.5 and 15Â nm. The total thickness of the laminate structures was in the range of 160-170Â nm. The hardness values of single layer oxides on glass ranged from 6.7Â GPa (Ta2O5) to 9.5Â GPa (Al2O3). Corresponding elastic moduli were 96Â GPa and 101Â GPa. The hardnesses of laminates were in the range of 6.8-7.8Â GPa and elastic moduli were between 93 and 118Â GPa. The results implied a correlation between mechanical properties and the relative content of constituent single oxides.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 282, 25 November 2015, Pages 36-42
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 282, 25 November 2015, Pages 36-42
نویسندگان
Taivo Jõgiaas, Roberts Zabels, Aile Tamm, Maido Merisalu, Irina Hussainova, Mikko Heikkilä, Hugo Mändar, Kaupo Kukli, Mikko Ritala, Markku Leskelä,