کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10226519 | 1701275 | 2018 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of microlens array on 6H-SiC mold by an integrated microcutting-etching process
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A microcutting-etching method involving the combination of single-point diamond cutting with inductively coupled plasma (ICP) etching is proposed to fabricate microlens arrays on 6H-SiC, as shown in Fig. 1. The techniques to control the accuracy of the microlens array on 6H-SiC are managed by studying the cutting process, selectivity ratio and etching condition. A ring-shaped microlens array on 6H-SiC mold with excellent accuracy and consistency is generated via this method, as shown in Fig. 2.148
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 54, October 2018, Pages 314-320
Journal: Precision Engineering - Volume 54, October 2018, Pages 314-320
نویسندگان
Tianfeng Zhou, Ruzhen Xu, Benshuai Ruan, Zhiqiang Liang, Xibin Wang,