![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Fabrication of microlens array on 6H-SiC mold by an integrated microcutting-etching process
Keywords: ICP اچ; Single-point diamond cutting; Microlens array; 6H-SiC mold; ICP etching;