کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
701184 | 1460818 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
ICP etching of polycrystalline diamonds: Fabrication of diamond nano-tips for AFM cantilevers
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: ICP etching of polycrystalline diamonds: Fabrication of diamond nano-tips for AFM cantilevers ICP etching of polycrystalline diamonds: Fabrication of diamond nano-tips for AFM cantilevers](/preview/png/701184.png)
چکیده انگلیسی
Diamond nano-tips for measurements of living-cell activities have been fabricated from polycrystalline diamond/Si substrates using an inductively coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE) system. Mixtures of O2 and CF4 gas in a plasma was used as etching atmosphere. The etching properties of polycrystalline diamond film have been characterized. During etching of polycrystalline diamond, unintentional nano whiskers were formed due to the inhomogeneity of chemical bonds at grain boundaries. Finally, nano-tips longer than 10 μm and with an apex radius below 50 nm without nano whiskers have been realized.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 4–5, April–May 2008, Pages 728–731
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 17, Issues 4–5, April–May 2008, Pages 728–731
نویسندگان
H. Uetsuka, T. Yamada, S. Shikata,