کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10409665 | 894101 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A micromachined vapor jet pump
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: A micromachined vapor jet pump A micromachined vapor jet pump](/preview/png/10409665.png)
چکیده انگلیسی
Based on the results of the measurements, it is proven that the pump principle can be transferred to micro-systems. It is shown that a differential pressure between the fore vacuum side and the high vacuum side is achieved due to the pumping effect of the supersonic jet.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 119, Issue 2, 13 April 2005, Pages 462-467
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 119, Issue 2, 13 April 2005, Pages 462-467
نویسندگان
M. Doms, J. Mueller,