کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10633531 | 993042 | 2005 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nanostructuring lithium niobate substrates by focused ion beam milling
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Nanostructuring lithium niobate substrates by focused ion beam milling Nanostructuring lithium niobate substrates by focused ion beam milling](/preview/png/10633531.png)
چکیده انگلیسی
We report on two novel ways for patterning lithium niobate (LN) at submicronic scale by means of focused ion beam (FIB) bombardment. The first method consists of direct FIB milling on LiNbO3 and the second one is a combination of FIB milling on a deposited metallic layer and subsequent RIE (Reactive Ion Etching) etching. FIB images show in both cases homogeneous structures with well reproduced periodicity. These methods open the way to the fabrication of photonic crystals on LiNbO3 substrates.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optical Materials - Volume 27, Issue 8, May 2005, Pages 1421-1425
Journal: Optical Materials - Volume 27, Issue 8, May 2005, Pages 1421-1425
نویسندگان
F. Lacour, N. Courjal, M.-P. Bernal, A. Sabac, C. Bainier, M. Spajer,